超純水設備技術應用 成為芯片制造關鍵一環(huán)
集成電路又稱芯片,是一種微型電子器件,是把電路(包括半導體裝置、元件)小型化、并制造在半導體晶圓表面上形成的具有所需電路功能的微型結構。在半導體行業(yè)中對離子的污染非常敏感,超過80%的制作工序都需要用到超純水,對于不同級別的生產線而言,對超純水的質量要求也不盡相同。
傳統(tǒng)超純水制備工藝通常采用離子交換樹脂進行,此工藝需要進行樹脂再生,既耗費物力又耗費人工。針對傳統(tǒng)工藝中的不足,超純水設備通過雙級反滲透系統(tǒng)+EDI模塊的處理工藝,嚴格執(zhí)行國家環(huán)保政策,可確保處理后的水穩(wěn)定達標。
其技術特點如下:
1、設計工藝優(yōu)勢:設備在設計時會進行余量設計,可以保證設備在2年后仍可滿足使用需求,有效保證了設備長久穩(wěn)定的運行。
2、電氣控制優(yōu)勢:設備實現全自動運行,具有一鍵開啟功能,能真正實現無人值守,減少了人工成本投入。
3、數據監(jiān)測優(yōu)勢:儀器儀表完善,在線顯示運行數據,讀取方便、及時、準確,一目了然,隨時了解產水質量。
4、環(huán)保優(yōu)勢:設備無任何酸堿等造成環(huán)境衛(wèi)生的廢物產生,安全環(huán)保。
5、原材料選擇優(yōu)勢:選用的原材料品牌優(yōu)于常規(guī)品牌,核心材料原裝進口。
超純水設備配備濃水置換專業(yè)技術,防止膜系統(tǒng)受到微生物污染。通過完善的技術,提高系統(tǒng)回收率,降低能耗和運行成本,除可應用在芯片行業(yè)外,在電力、造紙、日化等領域都有著廣泛的應用。